產(chǎn)品特性：

• 由檢測(cè)側(cè)滑的傳感器以及使各輪發(fā)生制動(dòng)力的油壓?jiǎn)卧獦?gòu)成
• 采用MEMS結(jié)構(gòu)
• 抗振性將適應(yīng)范圍擴(kuò)大到了10kHz以下
• 采取了噪聲對(duì)策

適用范圍：

• 汽車

日立制作所和日立汽車系統(tǒng)（Hitachi Automotive Systems）于2009年10月宣布共同開發(fā)出了ESC（防側(cè)滑裝置）用傳感器（圖1）。該傳感器的特點(diǎn)是：提高了耐熱性及抗振性，可與發(fā)動(dòng)機(jī)室內(nèi)的油壓?jiǎn)卧惑w化。包括組裝成本在內(nèi)，成本有望比原來降低50％。預(yù)定2012年開始量產(chǎn)。 ESC的系統(tǒng)由檢測(cè)側(cè)滑的傳感器以及使各輪發(fā)生制動(dòng)力的油壓?jiǎn)卧獦?gòu)成?，F(xiàn)有系統(tǒng)大多在車室內(nèi)配置傳感器，這時(shí)傳感器到發(fā)動(dòng)機(jī)室油壓?jiǎn)卧怯秒娎|線連接的。由于電纜線的成本昂貴，因此ESC在降低系統(tǒng)成本方面存在限制。

新傳感器由于提高了耐熱性及抗振性，因此可與油壓?jiǎn)卧惑w化。除了能夠省去傳感器與油壓?jiǎn)卧g的電纜線之外，由于減少了組裝工序，還可降低成本。包括組裝工序在內(nèi)，傳感器的成本可降低50％。

日立集團(tuán)預(yù)計(jì)，以新興市場(chǎng)國家等為主要對(duì)象，車輛的低成本化及ESC配備的義務(wù)化將呈現(xiàn)出全球擴(kuò)大趨勢(shì)。新傳感器可使ESC輕松配備到低價(jià)位車輛上。美國已開始采取在2012年之前將ESC的配備分階段進(jìn)行義務(wù)化的措施，而且歐洲也展開了同樣的行動(dòng)。

新開發(fā)的ESC傳感器采用MEMS結(jié)構(gòu)，可通過一個(gè)傳感器來檢測(cè)角速度（單軸）和加速度（前后左右雙軸）。耐熱性從可用于車內(nèi)（-40～85℃）的水平提高到了可用于發(fā)動(dòng)機(jī)室（-40～125 ℃）的水平。抗振性將適應(yīng)范圍從原來的2kHz以下擴(kuò)大到了10kHz以下。

新傳感器由MEMS中常見的固定部、可動(dòng)部、連接固定部與可動(dòng)部的彈簧，以及檢測(cè)可動(dòng)部運(yùn)動(dòng)的電極構(gòu)成。利用電極靜電容量隨著可動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)而發(fā)生變化的特性來檢測(cè)角速度和加速度（圖2）。檢測(cè)角速度的電極只有在彎道等使車輛轉(zhuǎn)向時(shí)才檢測(cè)信號(hào)。 新傳感器由于在發(fā)動(dòng)機(jī)室中使用，因此包括固定部在內(nèi)的底板可會(huì)因?yàn)闊崤蛎浂冃?。為了使固定部的變形不?huì)影響到可動(dòng)部的運(yùn)動(dòng)，在彈簧的配置上下了工夫，不過日立并未公布相關(guān)細(xì)節(jié)。另外，為了確保抗振動(dòng)性，還采取了噪聲對(duì)策。為了使發(fā)動(dòng)機(jī)的振動(dòng)不給傳感器電極的信號(hào)檢測(cè)造成影響，通過信號(hào)處理去除了與車輛行駛無關(guān)的約100Hz以上的噪聲。